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    KLA-Tencor光學表面分析儀Candela CS20系列

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    • 品牌名稱:KLA-Tencor
    • 規格型號:Candela CS20系列
    產品介紹

    單工具解決方案,在一次掃描中結合了四種光學檢測技術,可在自動缺陷檢測和分類中獲得高效率

    滿足多個行業要求,包括HBLED,高功率射頻電子和玻璃顯示技術

    2英寸晶圓的吞吐量高達40wph,8英寸晶圓的吞吐量高達20wph

    用于多種材料的30多個DOI缺陷分類的高級算法

    快速,全晶圓粗糙度監測和表面均勻度映射

    KLA-Tencor Candela CS20系列光學表面分析儀(OSA)對半導體和光電材料進行高級表面檢測。CS20系列提供了過程控制并提高了產量,可用于檢查不透明的基板(例如Si,GaAs和InP)以及透明的材料(例如SiC,GaN,藍寶石和玻璃)。

    CS20系列采用OSA技術來同時測量散射強度,形貌變化,表面反射率和相移,以自動檢測和分類不斷增加的關注缺陷(DOI)庫。OSA檢查技術結合了散射測定法,橢圓測定法,反射測定法和光學輪廓測定法的基本原理,以無損檢查晶片表面的殘留污染,表面和亞表面缺陷,形貌變化和膜厚均勻性。CS20系列的高靈敏度,高通量和多功能性提供了一種經濟高效的解決方案,適用于過程開發和制造過程控制。

    產品參數

    CandelaOSA系統: 鏡面(反射光)

    相移

    地形

    散射光

    激光二極管: CS20R-8mW,635nm紅色激光

    CS20v-25mW,405nm紫激光

    CS20-雙路25mW,405nm X射線

    4通道顯微鏡技術可用于缺陷分析和識別關鍵任務缺陷(DOI)

    顯示的缺陷包括:SiC三角形缺陷,藍寶石襯底劃痕,SiC多型缺陷,晶片邊緣劃痕和GaN外延坑

    自動缺陷分類軟件可為DOI分類提供配方創建

    高通量掃描分析可提供摘要報告,包括缺陷圖,日志文件和自動通過/失敗分配

    缺陷按大小分類并歸類為用戶定義的類別,并顯示在Candela缺陷圖上

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