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    SIOS差分激光干涉儀SP 5000 DI

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    • 品牌名稱:SIOS
    • 規格型號:SP 5000 DI
    產品介紹

    高精度的差分長度和角度測量

    傳感器頭由不銹鋼制成

    長期穩定性高

    差分測量使環境影響更小化

    SIOS的超穩定差動激光干涉儀SP 5000 DI具有獨特的熱穩定性,可用于研究和開發中的長期測量,例如材料測試。得益于其設計,借助外部參考光束,可以將測量系統放置在距測量位置更長的距離處,而不會明顯影響測量的分辨率或穩定性。干涉儀的長度分辨率為5 pm,這歸功于測量系統的微分原理,即使在正常實驗室條件下也可以實現。

    如果使用傾斜不變反射器進行長度測量,則測量范圍為幾米。該系統采用模塊化設計,因此可以適應特定的測量任務??梢院唵吻议L期穩定地進行調整。在SP 5000 DI干涉儀的基礎上構建多軸系統還可以進行多坐標測量。

    產品參數

    位移測量范圍:5 m

    位移分辨率:5 pm

    角度測量范圍

    帶反射器:±12.5°

    帶平面鏡(建議距離≤2m):±1.5弧分

    光束距離(標準):21 mm

    波長:632.8 nm

    HeNe激光器的頻率穩定性(預熱時間之后):2·10-8

    HeNe激光器的預熱時間:10 ... 20 min

    工作溫度范圍:15 ... 30°C

    測量反射鏡的位移速度:max.3 m /s

    傳感器頭和電子單元之間的電纜長度:3 m,max.10 m

    電源:100 ... 240 VAC / 47 ... 63 Hz

    尺寸(長x寬x高)

    傳感器頭(帶基板):150 x 140 x 43 mm

    電子供應和評估單元(標準):450 x 400 x 150 mm

    電子供應和評估單元(緊湊):250 x 400 x 150 mm

    重量

    感測頭:2.0 kg

    底盤:1.5 kg

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