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    ATL Lasertechnik準分子激光器ATLEX-500-I

    400 閱讀
    產品介紹

    軟電暈預電離

    高壓固態脈沖發生器

    激光頭體積<3l

    TMC(全金屬陶瓷)容器

    集成真空泵和鹵素過濾器

    風冷/可選液冷,主動熱管理

    RS-485,RS232,USB和光纖接口,用于系統集成

    可沖洗光學支架

    能量穩定模式

    新一代緊湊型風冷,高重復頻率的準分子激光器,專為中低占空比應用而設計。

    產品參數

    氣體介質

    F2

    ArF

    KrF

    XeCl

    XeF

    波長 nm

    157

    193

    248

    308

    351

    高壓開關技術

    固態開關

    重復率max. Hz

    1

    10

    15

    8

    7

    脈沖能量max. mJ

    0.5

    4.0

    6.5

    3.0

    2.5

    平均功率max. W

    500

    脈沖持續時間 ns

    5-8

    光束尺寸(V x H) mm

    4 x 6

    光束發散角(V x H)mrad

    1 x 2

    能量穩定性(標準偏差)%

    < 3

    尺寸(長x寬x高)mm

    540 x 470 x 370

    重量 kg

    60

    冷卻

    冷卻空氣/可選液體

    電源要求

    230 VAC / 6,3 A / 1相/ 50-60 Hz

     

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    品質保證

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