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    CYBER TECHNOLOGIES厚度測量儀CT 350T

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    產品介紹

    快速準確的雙面掃描系統

    測量速度:2 kHz / 4 kHz / 20 kHz

    在x和y方向上移動300 mm(200 mm),橫向分辨率為50 nm,電動z軸分辨率為20 nm

    2D輪廓,3D地形圖和3D厚度圖

    掃描范圍大

    x,y,z分辨率,行程為max.300 mm(200 mm)

    零件厚度max.80 mm

    彩色白光傳感器

    高分辨率離軸相機

    CT 350T是一款非接觸式雙面光學輪廓儀,具有300毫米x,y掃描臺。頂部和底部傳感器安裝在行程為100 mm的高精度Z軸上。雙面自動對焦功能甚至可以測量嚴重彎曲或彎曲的零件。兩個傳感器均收集與x,y編碼器信號同步的高度數據,并軸向對齊以確保精確的差分厚度測量。該軟件同時從頂部和底部表面生成2D輪廓和3D貼圖,并計算相應的總厚度輪廓或貼圖。

    運動系統使用快速,準確的磁性直線電機。通過以4 kHz的數據速率觸發彩色白光傳感器,可以將檢查時間更小化。通過在平臺孔上安裝轉接板,該系統可以用作標準光學表面輪廓儀,使CT 350T成為功能廣泛的表面和厚度測量系統。該系統也有較小的版本,如CT 250T,具有200 mm的行程,非常適合8英寸晶圓或基板和太陽能晶圓。

    產品參數

    集成系統控制器:包括運動控制,傳感器控制器(4 kHz),電源,工作站的USB接口

    工作站電腦:查詢當前規格,22英寸寬屏顯示器

    連接方式:以太網,DVD驅動器,USB(正面和背面),并行端口,鍵盤,鼠標,DVI和模擬視頻輸出

    電源要求:100-240 V AC,50-60 Hz,2.0 A(240 V),5 A(100 V)

    測量表面尺寸:300 x 300 [mm](12 x 12 [in])

    線性編碼器分辨率

    X,Y:50 nm(2μin)

    Z:5 nm(0.2 µin)

    橫向分辨率:1微米(載物臺分辨率:50 nm)

    X和Y的行程限制(電動):350 x 300 [mm](13.8 x 12 [in])

    Z行程限制(電動):100 mm (4 in)

    平臺上的負載:max.10 kg

    可用的傳感器:共焦白光傳感器

    工作溫度:18°-20°C(64°F – 68°F)

    尺寸(長X寬X高):1290 x 1082 x 1425 [mm](約43 x 51 x 56 [in])

    重量:650 kg (1.433 lbs)

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