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    ALNAIR硅晶圓厚度傳感器SIT-200

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    • 品牌名稱:ALNAIR
    • 規格型號:SIT-200
    產品介紹

    用于硅晶片的全光學非接觸式厚度傳感器

    高動態范圍,能夠測量混亂的表面

    能夠在濕蝕刻過程中進行原位測量

    SIT-200使用高速掃頻可調激光器(而不是寬帶光源)來探測被測晶片。這樣就可以對每個波長進行更高功率的測量,從而實現高動態范圍。即使在未拋光的晶片上,例如在濕蝕刻期間/之后,也可以進行厚度測量。硅晶圓厚度傳感器由精確調諧的波長掃描激光源,聚焦傳感器和光接收器(PD)構成。波長掃描光聚焦在目標上,并且在通過傳感器后,PD會檢測到從目標表面反射回來的干涉圖樣。

    產品參數

    測量對象:硅片

    可測厚度:10~500(n = 3.5)μm

    光源:波長掃描激光源

    (1515~1585)nm

    光輸出功率:0.6,激光等級1 mW

    引導光源:紅色LD,激光等級1M

    測量時間:min.20 ms

    重復性:小于0.1(3σ)μm

    監控輸出:干擾信號(電氣)

    PC接口:以太網

    電源:AC 100-240(50/60 Hz)V

    尺寸(寬x高x深):364 x 147 x 391 mm

    重量:9.0 kg

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